国产光刻机上市公司有哪些 除了上海微电子还有它

关于国产光刻机上市公司，上海微电子可谓是中国光刻机巨头，那么除了它之外还有谁与光刻机有关系呢？下面一起了解一下。

上海微电子在国内光刻机市场是数一数二的存在，如今已经坐拥2400项专利，垄断国内80%的光刻机市场份额。但若是放眼全球的话，上海微电子却只能排在第四，被第一名的ASML以及第二三名的日本佳能和康尼等公司远远甩在身后。而且相比于荷兰ASML已经可以生产出适用于7nm，甚至5nm制程的高精度光刻机，上海微电子目前却只能生产出90nm的光刻机，二者的差距一目了然。

另外一个有实力的队员也来自国家队，那就是中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，其研制国内第一套EUV光刻原理装置，实现了EUV光刻的原理性贯通。

2008年国家“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”科技重大专项将EUV光刻技术列为“32-22nm装备技术前瞻性研究”重要攻关任务。长春光机所作为牵头单位，承担起了“极紫外光刻关键技术研究”项目研究工作，成员单位还包括中国科学院光电技术研究所、中国科学院上海光学精密机械研究所等。

此外就数与光刻机的概念企业，由于一台光刻机有着大大小小8万个左右的零部件，其涉及到的技术也是诸多科研公司结合之后的结果。那么相关的一企业也不在少数，比较有争议的一个是奥普光电，目前，长春光机所是上市公司奥普光电的大股东，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所持有奥普光电42.65%的股份。另外，长春光学精密机械与物理研究所持有国望光学14.67%的股份，即奥普光电和国望光学有关联关系。

除此之外就是一些相关的半导体企业，像长电科技、华天科技、通富微电等很多家上市公司。