这两三年,国产光刻机一直都是大家非常关注的一个点,这两天有一家公司过会,被大家称为国产光刻机第一股,这篇文章就跟大家聊聊。
众所周知,荷兰的ASML公司在光刻机领域可谓一枝独秀。虽然ASML在生产光刻机过程中的很多零部件都需要依赖全球供应商,但有一核心部件,全球只有ASML造得出。
这便是光刻机双工件台,是光刻机的三大最核心组成部分之一。所谓双工件台,指的是光刻机当中用来承载晶圆的两个工作台额,而EUV光刻机对工作台的精度要求很高,因此,双工件台的生产具有较高的技术壁垒。
在业界,光刻机的双工件台和EUV光源、光学镜头并称为光刻机的三大最核心组成部分。因此,为实现光刻机的国产化,国内企业便首先需要攻克光刻机的“三大件”。
公开资料显示,华卓精科的业务之一便是光刻机双工件台的研发。目前,华卓精科已经成为国产光刻机龙头上海微电子的供应商。借此,华卓精科成为国内第一家自主研发并量产光刻机双工件台的半导体企业。
据悉,华卓精科研发的双工件台,可以满足65nm及以上工艺节点光刻机的使用。而在这背后,是华卓精科团队近20年的努力。
除了光刻机双工件台,华卓精科的其他多项产品也打破了国外垄断,产品化进展良好。
具体来说,在精密运动系统中,公司研发并量产了覆盖低、中、高端的定制化精密运动系统,在国产厂商中处于领先地位,打破国外厂商在高端领域的垄断。在晶圆级键合设备上,公司开展混合键合技术与晶圆级键合设备的研发,打破了EV Group 在国内混合键合领域的垄断。公司的激光退火设备聚焦40-14nm 的 IC 前道激光退火设备的研发。公司开发出 12 英寸 PVD 氮化铝静电卡盘,在一定程度上破除了国外厂商在该产品领域内的长期垄断局面。
综合以上信息,这家公司上市后的股价估计得翻几番,毕竟手里的这个技术,全世界除了阿斯麦尔就只有他有了,希望这篇文章能给大家带来帮助!
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