立霸股份和中芯国际的关系 通过沈阳拓荆联系

据了解，立霸股份和中芯国际之间并没有合作关系。但是随着立霸股份在半导体领域的进一步布局，可以发现在一些方面上，与中芯国际有着间接的关系。

根据辽宁省政府官网公开信息显示，PECVD设备方面，沈阳拓荆成功进入中芯国际、华力微电子28纳米生产线。立霸股份参股的沈阳拓荆科技有限公司生产的PECVD设备在中芯国际北京工程流片量已达100万片。这也是目前唯一能查阅到的相关联系。

再来看一下沈阳拓荆科技有限公司，这是国内唯一能够生产用于大规模集成电路生产线的12英寸PECVD设备企业。除了是中芯国际的设备供应商外还与长江存储有合作关系，是国家高科技重点企业。

沈阳拓荆的cvd产品在国内属于龙头地位，与中微的蚀刻，北方华创的pvd和光刻机构成晶圆厂的四大主力设备，产品技术含量在国内处于领先水平，远胜芯源微等其他设备公司。

公司自2010年成立至今形成了形成了12英寸PECVD（等离子化学气相沉积设备）、ALD（原子层沉积设备）、3D NAND PECVD（三维闪存专用薄膜设备）的三个完整系列产品。

其产品广泛应用于集成电路、3D-TSV、光波导、LED、3D-NAND闪存、OLED显示等高端技术领域，打破了国际垄断，填补了多项国内空白。截止到2020年底，累计申请专利超470项，荣膺国家知识产权局颁发的“国家知识产权示范企业（2019-2022）”称号。

去年，立霸股份靠着国家队的关系参股了沈阳拓荆科技有限公司，立霸股份投资1.3亿成立资设立股权投资基金，同时向沈阳拓荆科技有限公司（简称“拓荆科技”）投资1.5亿元。借助专业投资机构的优势，进一步拓宽投资渠道。

立霸股份近几年主营业务发展稳定，开始积极布局半导体产业，目前已经投资了三家半导体公司，未来有助于公司的业务拓展。