上海微电子装备公司未上市,因此也没有股票代码。
上海微电子装备公司于2002年3月份在张江高科技园区成立,主要业务范围是:半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务。公司设备广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造领域。
该公司的主要产品有:
一、500步进光刻机系列—后道IC、MEMS制造。
二、600扫描光刻机系列—前道IC制造。
三、200光刻机系列—AM-OLED显示屏制造。
四、硅片边缘曝光机系列—芯片级封装工艺应用。
五、精密温控系列—光刻机、刻蚀机应用。
六、精密温度控制解决方案。
该公司的科研和制造实力:
该公司拥有一支500多人的多学科、高技术的人才队伍和完善的产品开发手段和设备,以及支撑微电子装备研发的光学、机械、电气控制、微环境等多学科软硬件测控技术平台,可进行集成电路关键设备—光刻机的设计、制造集成、测试和工艺试验,技术涉及光学、结构、动力学、精密运动和控制、软件工程、精密测量、微环境控制等众多领域。
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